半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法

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GB/T6616-2023

Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge

行业标准产品质量检验 ✅ 已入库(一单一库)

状态
现行

ICS
77.040

CCS
H21

发布日期
2023-08-06

实施日期
2023-01-01

发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

📌 自2026年6月1日起实施"一单一库"管理。该标准已列入认监委能力项目库，检测机构须取得对应CMA资质。

标准概览

标准编号	GB/T6616-2023
标准名称	半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法
标准类型	行业标准
所属领域	产品质量检验
版本	2023
入库状态	✅ 已入库(一单一库)

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